精密鏡面磨削技術(shù)的發(fā)展
發(fā)布時間:2016-08-11
近年來,國外對精密磨削和精密研磨技術(shù)的研究開發(fā)獲得了不少成果和進(jìn)展。日本國家理化學(xué)研究所的大森整教授研制成功了在線修整砂輪的ELID鏡面磨削新工藝,可以對多種不同材料(如鋼、硬質(zhì)合金、陶瓷、光學(xué)玻璃、硅片等)零件的平面、外圓和內(nèi)孔進(jìn)行鏡面磨削。ELID鏡面磨削使用特制的鐵基結(jié)合劑細(xì)粒度金剛石(或CBN)砂輪,在磨削時在線對砂輪進(jìn)行電解修整,電解修整砂輪用的電解液同時用作磨削液(要求這種電解液不腐蝕機床)。用ELID鏡面磨削新工藝磨出的不同試件(光學(xué)玻璃平面、硅片平面和陶瓷內(nèi)孔)的磨削表面粗糙度可以達(dá)到鏡面水平(Ra=0.02~0.01μm)。ELID精密鏡面磨削工藝具有極好的生產(chǎn)應(yīng)用前景?,F(xiàn)在我國哈爾濱工業(yè)大學(xué)已研究并掌握了這項精密磨削新工藝。