微型零件、微型機(jī)械和微機(jī)電系統(tǒng)的精密制造技術(shù)新進(jìn)展
發(fā)布時(shí)間：2016-08-29
隨著納米技術(shù)的迅速發(fā)展和應(yīng)用范圍日趨廣泛，微型機(jī)械、微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)以及相應(yīng)的精密微細(xì)加工、微型零件及微機(jī)械精密制造技術(shù)亦獲得了快速發(fā)展。為了制造微型零件和微機(jī)械，精微機(jī)械加工發(fā)展迅速，現(xiàn)己達(dá)到較高水平。精微電火花加工、精微超聲振動(dòng)加工、精微準(zhǔn)分子激光加工、精微塑性成型加工等均已用于加工精度達(dá)微米級(jí)尺度的微小機(jī)構(gòu)零件。此外，還發(fā)展了不少專用的新工藝，如立體光刻技術(shù)、LIGA技術(shù)、犧牲層工藝等。并已開(kāi)發(fā)了微型機(jī)械的自動(dòng)裝配技術(shù)和微型機(jī)械制造廠等。下面只簡(jiǎn)要介紹精密微細(xì)機(jī)械加工技術(shù)的最新進(jìn)展。
