我國CVD技術(shù)的發(fā)展
發(fā)布時間:2016-11-23
我國從二十世紀七十年代初開始研究CVD涂層技術(shù),由于該項技術(shù)專用性較強,國內(nèi)從事研究的單位并不多。八十年代中期,我國CVD刀具涂層技術(shù)的開發(fā)達到實用化水平,工藝技術(shù)水平與當時的國際水平相當,但在隨后的十多年里發(fā)展較為緩慢(與國外研究狀況類似);九十年代末期,我國開始MT-CVD技術(shù)的研發(fā)工作,MT-CVD工藝及裝備的研究開發(fā)預計可在2001年內(nèi)基本完成,根據(jù)研究目標,工藝技術(shù)及設(shè)備將達到當前國際先進水平;我國PCVD技術(shù)的研究始于九十年代初,PCVD工藝技術(shù)主要用于模具涂層,目前在切削刀具領(lǐng)域的應用還十分有限。總體而言,國內(nèi)CVD技術(shù)的總體發(fā)展水平與國際水平差距不大,待MT-CVD技術(shù)開發(fā)成功,我國在刀具CVD涂層領(lǐng)域的整體水平將可與國際先進水平基本保持同步。